光刻機(jī)/封裝產(chǎn)線雙場(chǎng)景Chiller適配薄膜沉積等核心設(shè)備

　　在光刻機(jī)與封裝產(chǎn)線雙場(chǎng)景下Chiller（溫控設(shè)備）需同時(shí)滿足納米級(jí)光刻工藝溫控和封裝可靠性測(cè)試熱管理的嚴(yán)苛需求，尤其在薄膜沉積等核心設(shè)備中，其技術(shù)適配性體現(xiàn)在以下維度：

　　一、雙場(chǎng)景技術(shù)適配Chiller

　　1、光刻機(jī)場(chǎng)景：準(zhǔn)確溫控

　　激光光源冷卻：采用雙循環(huán)冷卻架構(gòu)，主循環(huán)維持20℃基準(zhǔn)溫度（波動(dòng)±0.1℃），次級(jí)循環(huán)針對(duì)EUV光源提供-10℃低溫，影響光源功率漂移。

　　工件臺(tái)熱穩(wěn)定性：通過(guò)鈦合金微通道換熱器直接冷卻平臺(tái)，結(jié)合溫度反饋算法，實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度梯度。

　　薄膜沉積工藝：在ALD/CVD過(guò)程中，Chiller需準(zhǔn)確控制反應(yīng)腔體溫度，確保薄膜均勻性。

　　2、封裝產(chǎn)線場(chǎng)景：寬溫區(qū)快速切換

　　高溫老化測(cè)試：模擬芯片在150℃環(huán)境下的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，Chiller需支持10℃/min快速升溫，并結(jié)合熱回收技術(shù)降低能耗。

　　低溫存儲(chǔ)驗(yàn)證：在-40℃環(huán)境下驗(yàn)證封裝材料抗脆裂性，Chiller采用雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)，確保低溫段控溫精度±0.2℃。

　　溫度沖擊試驗(yàn)：在-65℃~150℃范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)30秒溫變，篩選潛在工藝缺陷。

　　二、薄膜沉積設(shè)備溫控方案

　　1、熱管理挑戰(zhàn)

　　化學(xué)氣相沉積（CVD）：反應(yīng)腔體需維持高溫（如200℃），但基座需冷卻至50℃以防止熱應(yīng)力開(kāi)裂。Chiller采用分區(qū)控溫設(shè)計(jì)，高溫區(qū)用導(dǎo)熱油循環(huán)加熱，低溫區(qū)由冷水機(jī)組提供15℃冷卻水，溫差梯度控制精度達(dá)±1℃。

　　物理氣相沉積（PVD）：濺射靶材溫度需穩(wěn)定在200℃±1℃，Chiller通過(guò)脈沖寬度調(diào)制（PWM）控制冷卻液流速，避免靶材過(guò)熱變形。

　　2、國(guó)內(nèi)設(shè)備商創(chuàng)新方案

　　冠亞恒溫Chiller：推出多通道獨(dú)立控溫系統(tǒng)，支持光刻機(jī)與封裝產(chǎn)線并聯(lián)運(yùn)行，通過(guò)PID+模糊控制算法，實(shí)現(xiàn)光刻環(huán)節(jié)±0.1℃、封裝環(huán)節(jié)±0.1℃的差異化精度需求。

冠亞恒溫采用定制Chiller系統(tǒng)，通過(guò)多場(chǎng)景算法適配、分區(qū)控溫架構(gòu)、冗余安全設(shè)計(jì)，系統(tǒng)性解決光刻機(jī)與封裝產(chǎn)線的溫控需求，尤其針對(duì)薄膜沉積等核心設(shè)備提供定制化解決方案，助力國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)線發(fā)展。