半導體晶圓快速冷卻裝置開機運轉注意事項

　　操作人員在使用半導體晶圓快速冷卻裝置時，應當在開機前做好一些準備工作，這樣可以避免由于非正常條件下啟動引起的半導體晶圓快速冷卻裝置故障報警。

　　操作半導體晶圓快速冷卻裝置開機時應當注意以下幾點：

　　1、一般壓縮機等部件的電壓范圍是不允許超過額定電壓的范圍，如果機組在運行時出現電壓不穩定或是缺相等故障，嚴重的會造成壓縮機、水泵等電機部件燒毀。所以檢查半導體晶圓快速冷卻裝置的供電電壓值是否與設備標示的電壓、頻率一致是非常重要的，另外還需要檢查半導體晶圓快速冷卻裝置電控部分如接觸器、傳感器等部件的接線是否牢固。

　　2、檢查完電控系統、水循環系統，還需要檢查制冷系統，這里一般是查看半導體晶圓快速冷卻裝置上的高壓壓力表和低壓壓力表，通過上面顯示的壓力值我們可以判定半導體晶圓快速冷卻裝置的制冷劑及系統是否正常，如果出現壓力值為零或是高低壓超出正常范圍，那就需要排查故障后再啟動半導體晶圓快速冷卻裝置。

　　3、我們檢查完半導體晶圓快速冷卻裝置的電路以后，還要檢查水路系統（可能包含冷卻水系統、冷凍水系統以及供水水源等）是否運轉正常，如水循環管路上的閥門是否已經打開等等。

　　4、確保半導體晶圓快速冷卻裝置的長期穩定運行需要操作人員更多地了解半導體晶圓快速冷卻裝置的相關知識，如部件構成及運行原理、規范操作流程和保養知識等等，當然如果能有專人來負責操作和維護那樣就更好了。

設備操作人員應當仔細閱讀半導體晶圓快速冷卻裝置的使用說明以及半導體晶圓快速冷卻裝置廠家所提供的技術培訓內容，按步驟操作及維護保養半導體晶圓快速冷卻裝置，這樣才能確保半導體晶圓快速冷卻裝置穩定地運行。