光刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置常見系統(tǒng)故障

　　1、回液：對(duì)于使用膨脹閥的制冷系統(tǒng)，回液與膨脹閥選型和使用不當(dāng)密切相關(guān)。膨脹閥選型過大、過熱度設(shè)定太小、感溫包安裝方法不正確或絕熱包扎破損、膨脹閥失靈都可能造成回液。對(duì)于使用毛細(xì)管的小制冷系統(tǒng)而言，加液量過大會(huì)引起回液。蒸發(fā)器結(jié)霜嚴(yán)重或風(fēng)扇故障時(shí)傳熱變差，未蒸發(fā)的液體會(huì)引起回液。溫度頻繁波動(dòng)也會(huì)引起膨脹閥反應(yīng)失靈而引起回液。

　　2、帶液?jiǎn)?dòng)：壓縮機(jī)內(nèi)的潤(rùn)滑油劇烈起泡的現(xiàn)象叫帶液?jiǎn)?dòng)。帶液?jiǎn)?dòng)時(shí)的起泡現(xiàn)象可以在油視鏡上清楚地觀察到。根本原因是潤(rùn)滑油中溶解的以及沉在潤(rùn)滑油下面了大量的制冷劑，在壓力突然降低時(shí)突然沸騰，并引起潤(rùn)滑油的起泡現(xiàn)象，很容易引起液擊。

　　3、排氣溫度過高：排氣溫度過高的原因主要有以下幾種：回氣溫度高、電機(jī)加熱量大、壓縮比高、冷凝壓力高、制冷劑的絕熱指數(shù)、制冷劑選擇不當(dāng)。

　　4、液擊：為了保證壓縮機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)，防止產(chǎn)生液擊現(xiàn)象，要求吸氣溫度比蒸發(fā)溫度高一點(diǎn)，即應(yīng)具有一定的過熱度。吸氣溫度正常情況下應(yīng)比蒸發(fā)溫度高。

　　5、吸氣溫度高：系統(tǒng)中制冷劑充注量不足，或膨脹閥開啟度過小，膨脹閥口濾網(wǎng)堵塞，回氣管道隔熱不好或管道過長(zhǎng)等。

6、排氣溫度過低：節(jié)流閥或者干燥過濾器冰堵或臟堵，以及過濾器堵塞，制冷劑充注量不足。